在精密光學(xué)實(shí)驗(yàn)、掃描探針顯微鏡（SPM）、電子顯微鏡、納米壓痕、激光干涉測(cè)量及高精度計(jì)量領(lǐng)域，振動(dòng)是影響數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性的關(guān)鍵。氣浮隔振平臺(tái)利用壓縮氣體在平臺(tái)與基座間形成微米級(jí)氣膜，有效隔離來(lái)自地面、設(shè)備或人員走動(dòng)的低頻振動(dòng)（1-30Hz），為精密儀器提供穩(wěn)定的環(huán)境。然而，其性能發(fā)揮高度依賴正確的安裝與操作方法。掌握氣浮隔振平臺(tái)的科學(xué)使用技巧，是駕馭它的關(guān)鍵。
一、環(huán)境選擇
平臺(tái)應(yīng)放置于遠(yuǎn)離大型機(jī)械、電梯、空壓機(jī)等強(qiáng)振源的實(shí)驗(yàn)室區(qū)域。地面需堅(jiān)實(shí)、平整、無(wú)明顯傾斜。避免陽(yáng)光直射或空調(diào)出風(fēng)口直吹，防止溫度梯度引起空氣擾動(dòng)。確保周圍有足夠的操作空間，便于氣路連接與儀器布置。
二、水平調(diào)節(jié)
使用高精度水平儀（分度值≤0.02mm/m）調(diào)整平臺(tái)底部的可調(diào)支腳，使臺(tái)面在X、Y方向均達(dá)到精確水平。水平偏差過(guò)大會(huì)導(dǎo)致氣膜厚度不均，影響浮升高度與隔振效果，甚至造成平臺(tái)單側(cè)接觸基座。
三、氣源準(zhǔn)備
氣浮平臺(tái)需潔凈、干燥、穩(wěn)定的壓縮空氣（通常壓力為0.4–0.7MPa）。必須配備三級(jí)過(guò)濾器（除水、除油、除塵）和穩(wěn)壓閥，防止雜質(zhì)堵塞微小氣孔或造成壓力波動(dòng)。建議使用無(wú)油空壓機(jī)，避免潤(rùn)滑油污染精密表面。
四、加載與分布
放置儀器時(shí)，確?？傊亓坎怀^(guò)平臺(tái)額定承載能力。儀器應(yīng)盡量居中布置，避免偏載導(dǎo)致平臺(tái)傾斜。重型設(shè)備宜置于中心區(qū)域，輕型附件分布四周，維持質(zhì)量分布均衡。
五、啟動(dòng)與浮升
先開(kāi)啟氣源，緩慢打開(kāi)進(jìn)氣閥門，讓平臺(tái)平穩(wěn)升起至設(shè)計(jì)浮升高度（通常5–20μm）。觀察平臺(tái)是否平穩(wěn)懸浮，有無(wú)晃動(dòng)或局部觸碰。待平臺(tái)穩(wěn)定后（約1-2分鐘），再啟動(dòng)精密儀器進(jìn)行測(cè)量。
六、運(yùn)行維護(hù)與安全
實(shí)驗(yàn)結(jié)束后，先關(guān)閉儀器電源，再緩慢釋放氣源，讓平臺(tái)平穩(wěn)降落；
定期檢查氣路接頭有無(wú)漏氣，清潔過(guò)濾器濾芯；
臺(tái)面保持清潔，避免金屬碎屑或液體流入氣孔；
嚴(yán)禁在平臺(tái)上進(jìn)行敲擊、鉆孔等產(chǎn)生沖擊的操作。
更新時(shí)間：2025-10-23
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